一、電阻測(cè)試儀測(cè)試原理：
當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一 定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí),在1, 4兩根探針間通過電流I,則2, 3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示)。
根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。
二、儀器操作:
(一)測(cè)試的準(zhǔn)備:
1 ,將電源插頭插入儀器背面的電源插座電源開關(guān)置于斷開位置;
2,工作方式開關(guān)置于'短路"位置電流開關(guān)處于彈出位置;
先將電源開關(guān)置于開啟位置,同量選擇開關(guān)置于“短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時(shí)。
3,將手動(dòng)測(cè)試架的屏蔽線插頭與電=氣箱的輸入插座連接好;
4,對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);
5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測(cè)試要求。
(二)測(cè)試:
先將電源開關(guān)置于開啟位置測(cè)量選擇開關(guān)置于"短路" ,出現(xiàn)數(shù)字顯示，通電預(yù)熱半小時(shí).
1,放好樣品壓下探失，將測(cè)量選擇開處置于"刻量"位置，板性開處置于開關(guān)上方;
2.選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍?，?shù)字顯示基本為0000",著末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)能好使之顯示為0000"; .
3.將工作方式開關(guān)置于"1調(diào)節(jié)"按下電流開關(guān).資動(dòng)電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000"讀值為各電流量程的滿量程值;
4.再將性開笑壓F.便數(shù)顯也為1000+1,溫出電源開關(guān)將工作方式開關(guān)置于1或06.28處(探頭問距為1.59mm時(shí)置于1位置問距為1mm時(shí)置于6.28位置):
《師節(jié)電流后。上述步疆在以后的肉量中可不必重復(fù):只要調(diào)節(jié)好后，接下電流開關(guān),可由政顯直接讀出測(cè)量值)
5.若數(shù)顯爐滅,僅剿"1"表示超出該量程電壓值,可將電壓量理開關(guān)撥到檔位;
6,讀數(shù)后，將性開關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)性時(shí)的魔量值，將兩次測(cè)量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值。
三、注意事項(xiàng):
1.壓下深頭時(shí)壓力要適中,以免想壞探針。
2.由于樣品表面電阻可松分布不均,8量時(shí)應(yīng)對(duì)一個(gè)樣品多測(cè)幾個(gè)點(diǎn)然后取平均置:
3.樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查時(shí)中的厚魔修正案數(shù)，進(jìn)行慘正
